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產(chǎn)品名稱:芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液

發(fā)布時間:2021-03-24

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品特點:多相反應(yīng)器和結(jié)晶器的混合、流動、傳遞及反應(yīng):利用計算流體力學(xué)、傳遞學(xué)、反應(yīng)工程學(xué)、數(shù)學(xué)模型化以及多尺度方法,研究反應(yīng)分離設(shè)備內(nèi)的多相過程機理和變化規(guī)律,實現(xiàn)多相設(shè)備和過程的科學(xué)設(shè)計、放大、問題診斷、預(yù)測、優(yōu)化和調(diào)控。

芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液的詳細(xì)資料:

    團隊利用自主開發(fā)的數(shù)值放大新技術(shù)和測量儀器,發(fā)明了一系列強化混合、傳質(zhì)傳熱和反應(yīng)的新型反應(yīng)器,應(yīng)用于攪拌反應(yīng)器、固定床、膜反應(yīng)器、微反應(yīng)器、聚合反應(yīng)器、環(huán)流反應(yīng)器、漿態(tài)床、滴流床、結(jié)晶器、生物反應(yīng)器等,實現(xiàn)了高濃度非均相反應(yīng)器和結(jié)晶器的數(shù)值放大和過程強化從基礎(chǔ)理論走向工業(yè)應(yīng)用的突破,并已在中石化等近20家石化、醫(yī)藥和精細(xì)化工企業(yè)應(yīng)用,包括己內(nèi)酰胺、有機硅、電子級化學(xué)品、藥物結(jié)晶、航天動力材料等,每年為企業(yè)新增利稅超過10億元。      

    利用計算流體力學(xué)、傳遞學(xué)、反應(yīng)工程學(xué)、數(shù)學(xué)模型化以及多尺度方法,研究反應(yīng)分離設(shè)備內(nèi)的多相過程機理和變化規(guī)律,實現(xiàn)多相設(shè)備和過程的科學(xué)設(shè)計、放大、問題診斷、預(yù)測、優(yōu)化和調(diào)控。

工業(yè)問題:1、超高純電子級磷酸被國外長期壟斷,As/Sb等雜質(zhì)導(dǎo)致芯片短路、失效;
          2、磷酸合成溫度高達1300℃,反應(yīng)器極易腐蝕,金屬雜質(zhì)帶入產(chǎn)品。

        支撐超高純電子級磷酸工藝,打破國外壟斷,實現(xiàn)進口替代和出口。

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